|
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов, 3-е изд., стер. - Родионов Ю. А.
|
Khimicheskie tekhnologii v proizvodstve mikroelektromekhanicheskikh sistem. Uchebnoe posobie dlia vuzov, 3-e izd., ster.
SERIA: Радиоэлектроника и приборостроение
Type : Books
SKU: VV1615182
ISBN: 9785507469567
Pages: 220
Format: 70*100 1/16
Cover: Твердый переплет
Year: 2023
Publisher: Лань (Lan')
Your Price: $101.48
will be shipped in 14-20 days (отправляется через 14-20 дня)
|
| |
Краткая аннотация:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств». |
|
