|
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники - Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А.
|
MOS-gidridnaia epitaksiia v tekhnologii materialov fotoniki i elektroniki
Type : Books
SKU: VV1214398
ISBN: 9785948365213
Pages: 488
Format: 0
Cover: Hardcover
Year: 2020
Publisher: Техносфера (Tekhnosfera)
Your Price: $53.98
will be shipped in 14-16 days (отправляется через 14-16 дня)
|
| |
Краткая аннотация:
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников A'"BV, A"BV1 и твердых растворов на их основе - основных материалов современной оптоэ-лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей. |
|
