Email: sales@vasha-kniga.com
|
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
MOS-gidridnaia epitaksiia v tekhnologii materialov fotoniki i elektroniki
Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А. (Akchurin R.Kh., Marmaliuk A.A.)
SKU: VV1214398 ISBN: 9785948365213 Pages: 488 Hardcover year: 2020 Publicher: Техносфера (Tekhnosfera) Price: $53.98 ship 24-25
|
| В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) - одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников A'"BV, A"BV1 и твердых растворов на их основе - основных материалов современной оптоэ-лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей. |