Vasha Kniga Russian Books,
more than 125,000 Russian Books.
1-718-787-0664   |   Basket
Home  |  About us  |  F.A.Q.  |  Contact us  |  Order Status
 
 
  Russian keyboard
Advanced search
 
Авторы            Серии












Matreshka calling card

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения - Берлин Е.В., Григорьев В.Ю.


Induktivnye istochniki vysokoplotnoi plazmy i ikh tekhnologicheskie primeneniia


Type : Books


SKU: VV1093581
ISBN: 9785948365190

Pages: 464
Format: 70x100/16
Cover: Hardcover
Year: 2018
Publisher: Техносфера (Tekhnosfera)


Your Price: $41.78

will be shipped in 14-16 days (отправляется через 14-16 дня)



Print Print this page Email E-mail to a friend Help Ask question
 
Краткая аннотация:
За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.


 
Протос Г.Г.
Your Price: $13.68

shipped in 14-16 days
Филиппов А.
Your Price: $11.75

shipped in 14-16 days
Сидоров В.П.
Your Price: $29.19

shipped in 14-16 days
 
Дмитриев А.С.
Your Price: $72.22

shipped in 14-16 days
Пурышева Наталия Сергеевна
Your Price: $59.74

shipped in 14-16 days
Шахматова Валентина Васильевна
Your Price: $16.13

shipped in 14-16 days
 
Дорохова М.А.
Your Price: $24.37

shipped in 14-16 days
Перельман Яков Исидорович
Your Price: $33.43

shipped in 14-16 days
Перельман Яков Исидорович
Your Price: $42.12

shipped in 14-16 days





Copyright © 2001 - 2024, Vasha-Kniga - virtual bookstore.